其基本原理利用電離后的氦離子在磁場中形成不同半徑的軌跡，通過調(diào)整加速電壓，可以區(qū)分不同質(zhì)量的離子。具體操作方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測試法，每種方法都有其獨特優(yōu)點，如噴吹法的高靈敏度和吸槍法的簡便操作。噴吹法：在真空狀態(tài)下，通過氦氣掃描定位泄漏點。
真空質(zhì)譜法的泄漏檢測：真空法檢測泄漏時，需使用輔助真空泵或泄漏檢測器對測試產(chǎn)品的內(nèi)部密封室進行真空處理，然后通過氦帽或噴霧法將氦氣施加到測試產(chǎn)品的外表面。若被測產(chǎn)品表面有泄漏孔，則氦氣通過泄漏孔進入被測產(chǎn)品，進入氦質(zhì)譜儀檢漏儀實現(xiàn)泄漏測量。真空法檢測過程可分真空注入法和真空氦帽法。
噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。
氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設備，通過啟動檢漏儀并連接至待檢工件，對內(nèi)部抽真空，從外部噴入氦氣，利用漏點泄漏的氦氣被檢測出來。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏，向工件內(nèi)部打入氦氣，使用吸槍在工件表面檢測，漏出的氦氣通過吸槍被檢測儀抽走。
噴吹法：在真空狀態(tài)下，通過氦氣掃描定位泄漏點。吸槍法：在非真空環(huán)境下檢測，適合局部泄漏檢測。氦罩法：自動化程度高，適合大規(guī)模生產(chǎn)檢測。背壓法：專為密封部件檢測設計，重復性高。吸槍累積法：常壓下測量總漏率。真空箱測試法：生產(chǎn)線環(huán)境的理想選擇，靈敏度高且易于集成。
燈絲無法正常啟動。在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通，消除短路現(xiàn)象。
首先要進行校準，就是開機，等分子泵運轉正常，質(zhì)譜室真空達到綠區(qū)，加上燈絲，打開放氣閥安裝標準漏孔，進行校準，校準完就可以使用了，中科科儀有免費的培訓啊，你可以申請到科儀來培訓，一般1-2天你就完全OK 了。
更換方法：斷電源，拆外殼，拆面板，拆燒壞的燈絲，用無絮棉布清潔，換裝新離子源燈絲，裝面板，裝外殼。
質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
工作原理與結構氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。①單級磁偏轉型氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)以HZJ—l型儀器為例．介紹單級磁偏轉型氦質(zhì)譜檢漏儀，其結構如圖2所示。
氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理 圖1是一個典型質(zhì)譜室的剖面圖，燈絲電離出來的電子經(jīng)加速進入電離室，在電離室內(nèi)與殘余氣體分子和經(jīng)被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞，使氦分子發(fā)生電離，He →He++e 。
1、缺點在于檢測靈敏度低、檢測結果不確定及測量環(huán)境影響顯著。超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測。 氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法：使用真空壓力法進行泄漏檢測時，需將整個測試產(chǎn)品放置在真空密封室中，真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測器。
2、氦質(zhì)譜檢漏還能精確定位漏點，便于后期處理漏孔或改進工藝。該方法不受溫度，產(chǎn)品形變，內(nèi)表面放氣的影響，也不會弄濕或污染工件。
3、檢漏方法比較 水檢法為原始、簡單的檢漏方式，適用于自行車胎等類似物件。通過充氣并放入水中觀察氣泡產(chǎn)生情況，以確定泄露位置。此法可大致估測泄露率。鹵素法適用于制冷器的檢漏。在灌注冷媒封口后，使用鹵素檢漏儀探頭尋找漏點。當發(fā)現(xiàn)漏點時，儀器會發(fā)出聲光報警，從而確定漏點位置及泄露程度。
4、氦質(zhì)譜檢漏儀具有操作簡便、準確可靠、安全高效、成本較低、用途廣泛的特點。氦氣分子小，能偵測微小漏點。用于氣體管路檢測，包括高純氦氣、氫氣管道，常采用正壓法檢測。
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