氦質(zhì)譜檢漏儀原理

1、氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn)，通過(guò)質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要技術(shù)參數(shù)

氦質(zhì)譜檢漏儀具備卓越的靈敏度，其最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s，能夠精準(zhǔn)檢測(cè)極其微小的泄漏。在漏率顯示范圍方面，該儀器覆蓋廣泛，從1×10-3Pa·m3/s到1×10-12Pa·m3/s，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。儀器啟動(dòng)時(shí)間不超過(guò)5分鐘，快速響應(yīng)，確保高效工作。

主要技術(shù)指標(biāo)包括：最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s，漏率顯示范圍為1×10-4—1×10-12Pa·m3/s，啟動(dòng)時(shí)間≤5min，響應(yīng)時(shí)間≤5s，檢漏口的最高壓力為1000Pa，電源要求為220v，50Hz，單相，10A，工作環(huán)境為5-35℃，相對(duì)濕度≤80%，外形尺寸為550（w）×400（D）×780（H），重量為66kg。

超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)。 氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法：使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，需將整個(gè)測(cè)試產(chǎn)品放置在真空密封室中，真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測(cè)器。被測(cè)產(chǎn)品的充氣接口通過(guò)連接管引出真空密封室，連接至氦源。

氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設(shè)備，通過(guò)啟動(dòng)檢漏儀并連接至待檢工件，對(duì)內(nèi)部抽真空，從外部噴入氦氣，利用漏點(diǎn)泄漏的氦氣被檢測(cè)出來(lái)。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏，向工件內(nèi)部打入氦氣，使用吸槍在工件表面檢測(cè)，漏出的氦氣通過(guò)吸槍被檢測(cè)儀抽走。

氦氣真空檢漏儀作為一種高靈敏度的檢測(cè)設(shè)備，能夠在較低的壓力下準(zhǔn)確地檢測(cè)出氦氣的泄漏。其檢測(cè)原理基于氦氣分子的小尺寸特性，能夠通過(guò)氦質(zhì)譜儀識(shí)別并定位泄漏點(diǎn)。在實(shí)際應(yīng)用中，氦氣真空檢漏儀不僅能夠檢測(cè)漏點(diǎn)，還能幫助用戶了解整個(gè)SF6氣體充氣和抽真空裝置的性能。

是真空檢漏技術(shù)中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-9～10-12Pam3／s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀啟動(dòng)超時(shí)

電壓，油位。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓是否正常，開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過(guò)熱（泵冷卻后是否能啟動(dòng)）。檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否10℃，油霧過(guò)濾器的出口有無(wú)氣體排出（如果無(wú)氣體排出，更換油霧過(guò)濾器）。

儀器啟動(dòng)時(shí)間不超過(guò)5分鐘，快速響應(yīng)，確保高效工作。響應(yīng)時(shí)間小于2秒，確保迅速檢測(cè)到泄漏點(diǎn)，提高工作效率。檢漏口最高壓力可達(dá)300Pa，極限真空則為5×10-4Pa，能夠適應(yīng)多種環(huán)境條件。外形尺寸為560（寬）×420（深）×300（高）毫米，便于安裝和使用。該設(shè)備重46公斤，重量適中，便于運(yùn)輸和移動(dòng)。

啟動(dòng)時(shí)間≤5min，響應(yīng)時(shí)間≤5s，檢漏口的最高壓力為1000Pa，電源要求為220v，50Hz，單相，10A，工作環(huán)境為5-35℃，相對(duì)濕度≤80%，外形尺寸為550（w）×400（D）×780（H），重量為66kg。

通過(guò)分析收集極的離子流信號(hào)，可直接測(cè)量泄漏率。選擇氦氣作為示蹤氣體，主要因?yàn)槠湓诳諝庵械暮繕O低，環(huán)境本底較低，分子體積小，擴(kuò)散速度快，容易獲取，無(wú)毒，不易燃，且屬于惰性氣體。氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。

氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法：使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，需將整個(gè)測(cè)試產(chǎn)品放置在真空密封室中，真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測(cè)器。被測(cè)產(chǎn)品的充氣接口通過(guò)連接管引出真空密封室，連接至氦源。若有泄漏，氦氣將通過(guò)泄漏進(jìn)入真空密封室，進(jìn)入氦質(zhì)譜儀檢漏儀，測(cè)量被測(cè)產(chǎn)品的總泄漏率。