氦質(zhì)譜檢漏方法包括噴氦法和吸氦法。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可或缺的一種技術(shù),具有檢漏效率高、簡(jiǎn)便易操作、儀器反應(yīng)靈敏、精度高、不易受其他氣體干擾等優(yōu)點(diǎn),在電阻爐檢漏中廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn),通過(guò)質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。
氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設(shè)備,通過(guò)啟動(dòng)檢漏儀并連接至待檢工件,對(duì)內(nèi)部抽真空,從外部噴入氦氣,利用漏點(diǎn)泄漏的氦氣被檢測(cè)出來(lái)。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏,向工件內(nèi)部打入氦氣,使用吸槍在工件表面檢測(cè),漏出的氦氣通過(guò)吸槍被檢測(cè)儀抽走。
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理,測(cè)量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測(cè)零件密封表面存在泄漏時(shí),泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)器后,僅顯示氣體中的氦分壓信號(hào)值,通過(guò)此信號(hào)可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
檢測(cè)原理:氦質(zhì)譜細(xì)檢漏基于質(zhì)譜分析法,通過(guò)測(cè)定氦的分壓強(qiáng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。在質(zhì)譜儀中,不同質(zhì)量的分子被電離成帶正電荷的離子,并在磁場(chǎng)作用下做圓周運(yùn)動(dòng)。通過(guò)調(diào)節(jié)加速電壓,使不同質(zhì)量的氦離子依次通過(guò)狹縫被接收和檢測(cè),形成質(zhì)譜圖。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常包括常規(guī)檢漏和逆擴(kuò)散檢漏。常規(guī)檢漏通過(guò)將被檢測(cè)件放置在質(zhì)譜管內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)。逆擴(kuò)散檢漏則將被檢件連接至分子泵的出氣口,氦氣逆向進(jìn)入分子泵的進(jìn)氣口,通過(guò)檢測(cè)進(jìn)入的氦氣來(lái)識(shí)別泄漏。
粗檢漏方法則包括氣泡法、稱重法和染色法等。碳氟化合物氣泡法與普通氦質(zhì)譜檢測(cè)無(wú)縫銜接,是常見(jiàn)的粗檢漏方法之一。氦質(zhì)譜細(xì)檢漏的檢測(cè)原理基于質(zhì)譜分析法,通過(guò)測(cè)定氦的分壓強(qiáng)實(shí)現(xiàn)。在質(zhì)譜儀中,不同質(zhì)量的分子被電離成帶正電荷的離子,并在磁場(chǎng)作用下做圓周運(yùn)動(dòng),其軌道半徑與加速電壓和磁感應(yīng)強(qiáng)度有關(guān)。
1、氦質(zhì)譜檢漏儀主要用于檢測(cè)設(shè)備的氣密性,適用于真空設(shè)備、電子元器件等領(lǐng)域的檢漏工作。市場(chǎng)上有兩家公司較為知名,分別是中科科儀和安徽皖儀。中科科儀提供的國(guó)產(chǎn)配置相對(duì)較為經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,而安徽皖儀則以進(jìn)口配置著稱,價(jià)格相對(duì)較高。對(duì)于企業(yè)而言,可以根據(jù)自身的資金情況來(lái)選擇不同的配置。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀是現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、醫(yī)療等領(lǐng)域。它能夠有效地檢測(cè)出微小的氣體泄漏,保證產(chǎn)品質(zhì)量和安全。通過(guò)精準(zhǔn)的檢測(cè),不僅能夠確保產(chǎn)品的密封性能,還能及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題,避免不必要的損失。
3、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上是一個(gè)專用于檢測(cè)氦氣含量的儀器,通過(guò)測(cè)量氦氣濃度來(lái)判斷是否有泄漏。檢測(cè)氦氣使用的質(zhì)譜儀專門屏蔽了其他質(zhì)量數(shù)的氣體,確保僅檢測(cè)氦氣。質(zhì)譜儀在正常工作時(shí)需要真空環(huán)境,至少要達(dá)到10-3 mbar以下,以實(shí)現(xiàn)分子流狀態(tài),確保穩(wěn)定運(yùn)行。因此,檢漏儀還包括高真空系統(tǒng)。
4、氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn),通過(guò)質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。
5、氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理,測(cè)量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測(cè)零件密封表面存在泄漏時(shí),泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)器后,僅顯示氣體中的氦分壓信號(hào)值,通過(guò)此信號(hào)可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上是一個(gè)專用于檢測(cè)氦氣含量的儀器,通過(guò)測(cè)量氦氣濃度來(lái)判斷是否有泄漏。檢測(cè)氦氣使用的質(zhì)譜儀專門屏蔽了其他質(zhì)量數(shù)的氣體,確保僅檢測(cè)氦氣。質(zhì)譜儀在正常工作時(shí)需要真空環(huán)境,至少要達(dá)到10-3 mbar以下,以實(shí)現(xiàn)分子流狀態(tài),確保穩(wěn)定運(yùn)行。因此,檢漏儀還包括高真空系統(tǒng)。
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