1、氦質(zhì)譜檢漏方法包括噴氦法和吸氦法。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可或缺的一種技術(shù),具有檢漏效率高、簡(jiǎn)便易操作、儀器反應(yīng)靈敏、精度高、不易受其他氣體干擾等優(yōu)點(diǎn),在電阻爐檢漏中廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀具備卓越的靈敏度,其最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s,能夠精準(zhǔn)檢測(cè)極其微小的泄漏。在漏率顯示范圍方面,該儀器覆蓋廣泛,從1×10-3Pa·m3/s到1×10-12Pa·m3/s,滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。儀器啟動(dòng)時(shí)間不超過5分鐘,快速響應(yīng),確保高效工作。
主要技術(shù)指標(biāo)包括:最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s,漏率顯示范圍為1×10-4—1×10-12Pa·m3/s,啟動(dòng)時(shí)間≤5min,響應(yīng)時(shí)間≤5s,檢漏口的最高壓力為1000Pa,電源要求為220v,50Hz,單相,10A,工作環(huán)境為5-35℃,相對(duì)濕度≤80%,外形尺寸為550(w)×400(D)×780(H),重量為66kg。
氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法:使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),需將整個(gè)測(cè)試產(chǎn)品放置在真空密封室中,真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測(cè)器。被測(cè)產(chǎn)品的充氣接口通過連接管引出真空密封室,連接至氦源。若有泄漏,氦氣將通過泄漏進(jìn)入真空密封室,進(jìn)入氦質(zhì)譜儀檢漏儀,測(cè)量被測(cè)產(chǎn)品的總泄漏率。
在使用氦氣真空檢漏儀檢測(cè)SF6氣體斷路器的漏點(diǎn)時(shí),需要關(guān)注漏點(diǎn)指標(biāo)的變化。通常,當(dāng)漏點(diǎn)指標(biāo)變化超過0.1%的范圍時(shí),可以認(rèn)為是漏點(diǎn)存在。這表明在正常工作條件下,如果漏點(diǎn)率超過這個(gè)閾值,SF6氣體的泄漏量將可能超出允許范圍,進(jìn)而影響斷路器的性能和安全性。
通過分析收集極的離子流信號(hào),可直接測(cè)量泄漏率。選擇氦氣作為示蹤氣體,主要因?yàn)槠湓诳諝庵械暮繕O低,環(huán)境本底較低,分子體積小,擴(kuò)散速度快,容易獲取,無毒,不易燃,且屬于惰性氣體。氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡(jiǎn)便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn),通過質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。 通過調(diào)整加速電壓,可以區(qū)分不同質(zhì)量的離子,從而進(jìn)行檢測(cè)。
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理,測(cè)量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測(cè)零件密封表面存在泄漏時(shí),泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)器后,僅顯示氣體中的氦分壓信號(hào)值,通過此信號(hào)可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設(shè)備,通過啟動(dòng)檢漏儀并連接至待檢工件,對(duì)內(nèi)部抽真空,從外部噴入氦氣,利用漏點(diǎn)泄漏的氦氣被檢測(cè)出來。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏,向工件內(nèi)部打入氦氣,使用吸槍在工件表面檢測(cè),漏出的氦氣通過吸槍被檢測(cè)儀抽走。
噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。
真空箱氦檢漏系統(tǒng),核心原理采用氦氣作為示蹤氣體,檢測(cè)工件在真空箱內(nèi)的泄漏情況。該系統(tǒng)集成了高精度氦質(zhì)譜檢漏儀,可迅速準(zhǔn)確判斷漏率,便于生產(chǎn)線集成,具備高靈敏度、高重復(fù)性、高產(chǎn)量效率及易于校準(zhǔn)的優(yōu)點(diǎn)。企業(yè)通過配備氦氣回收提純一體機(jī),以降低產(chǎn)線成本,實(shí)現(xiàn)降本增效。
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