1、步驟：先將待檢測的系統(tǒng)或部件抽成真空，然后充入氦氣。原理：若存在泄漏，氦氣會通過漏洞進(jìn)入真空系統(tǒng)，觸發(fā)氦氣檢測器。適用場景：適用于檢測較小的漏洞和較高的真空度要求。正壓法氦檢漏：步驟：待檢測的系統(tǒng)或部件被充入一定壓力的氦氣。原理：若存在泄漏，氦氣會從漏洞中逸出，通過氦氣檢測器進(jìn)行檢測。
缺點(diǎn)在于檢測靈敏度低、檢測結(jié)果不確定及測量環(huán)境影響顯著。超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測。 氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法：使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測時(shí)，需將整個測試產(chǎn)品放置在真空密封室中，真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測器。
優(yōu)點(diǎn)：無需特殊設(shè)備，通過觀察壓力表讀數(shù)變化即可判斷是否有泄露，適用于大部分密封容器。缺點(diǎn)：無法判斷具體漏點(diǎn)和泄露量，只能檢測到泄露情況的存在，且檢測時(shí)間較長。氦質(zhì)譜檢漏儀：優(yōu)點(diǎn)：高精度，適用于汽車空調(diào)等靈敏度要求高的場合，能準(zhǔn)確檢測到微小的泄露，且檢漏方法多樣，可根據(jù)實(shí)際需求選擇。
檢漏方法比較 水檢法為原始、簡單的檢漏方式，適用于自行車胎等類似物件。通過充氣并放入水中觀察氣泡產(chǎn)生情況，以確定泄露位置。此法可大致估測泄露率。鹵素法適用于制冷器的檢漏。在灌注冷媒封口后，使用鹵素檢漏儀探頭尋找漏點(diǎn)。當(dāng)發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)時(shí)，儀器會發(fā)出聲光報(bào)警，從而確定漏點(diǎn)位置及泄露程度。
氦質(zhì)譜檢漏還能精確定位漏點(diǎn)，便于后期處理漏孔或改進(jìn)工藝。該方法不受溫度，產(chǎn)品形變，內(nèi)表面放氣的影響，也不會弄濕或污染工件。
應(yīng)用方法： 噴吹法：在真空狀態(tài)下，通過氦氣掃描定位泄漏點(diǎn)，具有高靈敏度。 吸槍法：在非真空環(huán)境下進(jìn)行檢測，操作簡便，適合局部泄漏檢測。 氦罩法：自動化程度高，適合大規(guī)模生產(chǎn)檢測，提高效率。 背壓法：專為密封部件檢測設(shè)計(jì)，重復(fù)性高，確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)，通過質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測試法。原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場中形成不同半徑的軌跡。 通過調(diào)整加速電壓，可以區(qū)分不同質(zhì)量的離子，從而進(jìn)行檢測。
氦質(zhì)譜檢漏儀的原理是基于氦氣作為示蹤氣體，利用質(zhì)譜分析技術(shù)來檢測和定位泄漏點(diǎn)，具體原理如下：示蹤氣體選擇：氦氣特性：氦氣是一種稀有氣體，在空氣中的含量極低，具有很小的原子半徑和極高的擴(kuò)散速度，極易通過微小的泄漏點(diǎn)，因此被選為理想的示蹤氣體。
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理，測量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測零件密封表面存在泄漏時(shí)，泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測器后，僅顯示氣體中的氦分壓信號值，通過此信號可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設(shè)備，通過啟動檢漏儀并連接至待檢工件，對內(nèi)部抽真空，從外部噴入氦氣，利用漏點(diǎn)泄漏的氦氣被檢測出來。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏，向工件內(nèi)部打入氦氣，使用吸槍在工件表面檢測，漏出的氦氣通過吸槍被檢測儀抽走。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)，核心原理采用氦氣作為示蹤氣體，檢測工件在真空箱內(nèi)的泄漏情況。該系統(tǒng)集成了高精度氦質(zhì)譜檢漏儀，可迅速準(zhǔn)確判斷漏率，便于生產(chǎn)線集成，具備高靈敏度、高重復(fù)性、高產(chǎn)量效率及易于校準(zhǔn)的優(yōu)點(diǎn)。企業(yè)通過配備氦氣回收提純一體機(jī)，以降低產(chǎn)線成本，實(shí)現(xiàn)降本增效。
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
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