缺點在于檢測靈敏度低、檢測結(jié)果不確定及測量環(huán)境影響顯著。超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測。 氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法：使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測時，需將整個測試產(chǎn)品放置在真空密封室中，真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測器。
1、氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)，通過質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測試法。原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場中形成不同半徑的軌跡。 通過調(diào)整加速電壓，可以區(qū)分不同質(zhì)量的離子，從而進(jìn)行檢測。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀的原理是基于氦氣作為示蹤氣體，利用質(zhì)譜分析技術(shù)來檢測和定位泄漏點，具體原理如下：示蹤氣體選擇：氦氣特性：氦氣是一種稀有氣體，在空氣中的含量極低，具有很小的原子半徑和極高的擴(kuò)散速度，極易通過微小的泄漏點，因此被選為理想的示蹤氣體。
3、氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理，測量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測零件密封表面存在泄漏時，泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測器后，僅顯示氣體中的氦分壓信號值，通過此信號可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
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