氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn),通過質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。 通過調(diào)整加速電壓,可以區(qū)分不同質(zhì)量的離子,從而進(jìn)行檢測(cè)。
1、真空箱氦檢漏系統(tǒng)的核心原理是利用氦氣作為示蹤氣體進(jìn)行檢漏。具體過程為:將氦氣充入待檢測(cè)的工件中,然后將工件置于真空箱內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)。通過高精度的氦質(zhì)譜檢漏儀,可以迅速準(zhǔn)確地判斷工件的泄漏情況,并通過分析氦氣的分布得出檢測(cè)產(chǎn)品的漏率。
2、真空箱氦檢漏系統(tǒng),核心原理采用氦氣作為示蹤氣體,檢測(cè)工件在真空箱內(nèi)的泄漏情況。該系統(tǒng)集成了高精度氦質(zhì)譜檢漏儀,可迅速準(zhǔn)確判斷漏率,便于生產(chǎn)線集成,具備高靈敏度、高重復(fù)性、高產(chǎn)量效率及易于校準(zhǔn)的優(yōu)點(diǎn)。企業(yè)通過配備氦氣回收提純一體機(jī),以降低產(chǎn)線成本,實(shí)現(xiàn)降本增效。
3、其基本原理利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡,通過調(diào)整加速電壓,可以區(qū)分不同質(zhì)量的離子。具體操作方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法,每種方法都有其獨(dú)特優(yōu)點(diǎn),如噴吹法的高靈敏度和吸槍法的簡(jiǎn)便操作。噴吹法:在真空狀態(tài)下,通過氦氣掃描定位泄漏點(diǎn)。
4、氦檢漏是一種高精度的檢漏方法,常用于檢測(cè)密封性要求極高的系統(tǒng)和設(shè)備。氦檢漏的原理基于氦氣分子小、穿透力強(qiáng)且易于檢測(cè)的特點(diǎn)。在被檢測(cè)的封閉系統(tǒng)中充入一定量的氦氣,若系統(tǒng)存在漏點(diǎn),氦氣就會(huì)通過漏點(diǎn)泄漏到外部。
5、真空箱測(cè)試法 步驟:測(cè)試部件充滿氦氣被放置在的真空腔體內(nèi),如果發(fā)現(xiàn)有泄漏,氦氣會(huì)從測(cè)試部件內(nèi)逃逸到真空腔體內(nèi),從而檢測(cè)出泄漏。特點(diǎn):高靈敏度、高重復(fù)性、易于校準(zhǔn)、便于集成到生產(chǎn)線上、高產(chǎn)量。
6、真空箱氦檢漏,根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理,用氦氣作為示蹤氣體,在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件,然后通過氦檢漏儀能高精度、迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄露情況。
氦質(zhì)譜檢漏的基本方法主要包括噴氦法和吸槍法。噴氦法 噴氦法(也叫真空法)主要用于對(duì)真空設(shè)備進(jìn)行檢漏。具體操作步驟如下:?jiǎn)?dòng)檢漏儀并把它與被測(cè)工件相連。檢漏儀對(duì)被測(cè)工件內(nèi)部抽真空。此時(shí)對(duì)待檢真空設(shè)備外部各位置進(jìn)行噴氦。當(dāng)噴氦的位置有泄漏時(shí),氦氣就會(huì)從漏點(diǎn)進(jìn)入被測(cè)工件,從而被檢漏儀檢測(cè)到。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場(chǎng)中的偏轉(zhuǎn),通過質(zhì)荷比的差異進(jìn)行檢測(cè)。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測(cè)試法。原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場(chǎng)中形成不同半徑的軌跡。
氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用方法主要包括以下幾種:噴吹法 步驟:將被檢件內(nèi)部氣體抽空到一定的真空度,此時(shí)檢漏儀需處于檢漏狀態(tài)。通過噴槍將氦氣噴掃被檢件的外表面,通過泄漏點(diǎn)進(jìn)入的氦氣氣流量定位泄漏點(diǎn)。特點(diǎn):定位泄漏準(zhǔn)確、高靈敏度、操作簡(jiǎn)便。
氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設(shè)備,通過啟動(dòng)檢漏儀并連接至待檢工件,對(duì)內(nèi)部抽真空,從外部噴入氦氣,利用漏點(diǎn)泄漏的氦氣被檢測(cè)出來。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏,向工件內(nèi)部打入氦氣,使用吸槍在工件表面檢測(cè),漏出的氦氣通過吸槍被檢測(cè)儀抽走。
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理,測(cè)量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測(cè)零件密封表面存在泄漏時(shí),泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測(cè)器后,僅顯示氣體中的氦分壓信號(hào)值,通過此信號(hào)可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
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