1、氦質(zhì)譜檢漏儀：用于檢測氦氣的泄漏。真空泵：用于抽真空以創(chuàng)造檢測環(huán)境。噴槍、吸槍等輔助設(shè)備：用于噴氦和檢測泄漏。綜上所述，氦質(zhì)譜細(xì)檢漏是一種高效、靈敏且無損的密封性檢測方法，特別適用于氣密封裝電子元器件的密封性檢查。通過選擇合適的檢測方法和設(shè)備，可以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
在AEC-Q中，氦質(zhì)譜檢漏試驗通常遵循以下流程：準(zhǔn)備階段：對被檢件進行預(yù)處理，如清潔、除油等，以確保試驗結(jié)果的準(zhǔn)確性。充氦階段：使用專用加壓容器向被檢件內(nèi)充入一定量的氦氣。檢測階段：將被檢件放入專用檢漏罐中，對檢漏罐抽真空后連接到檢漏儀上。檢漏儀開始工作，檢測從被檢件中泄漏出來的氦氣。
氦質(zhì)譜檢漏儀實際上是一個專用于檢測氦氣含量的儀器，通過測量氦氣濃度來判斷是否有泄漏。檢測氦氣使用的質(zhì)譜儀專門屏蔽了其他質(zhì)量數(shù)的氣體，確保僅檢測氦氣。質(zhì)譜儀在正常工作時需要真空環(huán)境，至少要達到10-3 mbar以下，以實現(xiàn)分子流狀態(tài)，確保穩(wěn)定運行。因此，檢漏儀還包括高真空系統(tǒng)。
1、氦質(zhì)譜檢漏的基本方法主要包括噴氦法和吸槍法。噴氦法 噴氦法（也叫真空法）主要用于對真空設(shè)備進行檢漏。具體操作步驟如下：啟動檢漏儀并把它與被測工件相連。檢漏儀對被測工件內(nèi)部抽真空。此時對待檢真空設(shè)備外部各位置進行噴氦。當(dāng)噴氦的位置有泄漏時，氦氣就會從漏點進入被測工件，從而被檢漏儀檢測到。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀原理是基于不同質(zhì)量離子在磁場中的偏轉(zhuǎn)，通過質(zhì)荷比的差異進行檢測。其應(yīng)用方法包括噴吹法、吸槍法、氦罩法、背壓法、吸槍累積法和真空箱測試法。原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場中形成不同半徑的軌跡。
3、氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。噴氦法通常用于真空設(shè)備，通過啟動檢漏儀并連接至待檢工件，對內(nèi)部抽真空，從外部噴入氦氣，利用漏點泄漏的氦氣被檢測出來。而吸槍法適用于在正壓下的腔體或管路檢漏，向工件內(nèi)部打入氦氣，使用吸槍在工件表面檢測，漏出的氦氣通過吸槍被檢測儀抽走。
4、氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理，測量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測零件密封表面存在泄漏時，泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測器后，僅顯示氣體中的氦分壓信號值，通過此信號可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
5、氦質(zhì)譜檢漏儀是利用磁偏轉(zhuǎn)原理制成的、對示漏氣體氦反應(yīng)靈敏的質(zhì)譜儀，專門用于檢測氣體泄漏。以下是對氦質(zhì)譜檢漏儀的詳細(xì)解析：工作原理 氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示漏氣體。
6、氦質(zhì)譜檢漏儀的原理是基于氦氣作為示蹤氣體，利用質(zhì)譜分析技術(shù)來檢測和定位泄漏點，具體原理如下：示蹤氣體選擇：氦氣特性：氦氣是一種稀有氣體，在空氣中的含量極低，具有很小的原子半徑和極高的擴散速度，極易通過微小的泄漏點，因此被選為理想的示蹤氣體。
氦質(zhì)譜檢漏儀具備卓越的靈敏度，其最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s，能夠精準(zhǔn)檢測極其微小的泄漏。在漏率顯示范圍方面，該儀器覆蓋廣泛，從1×10-3Pa·m3/s到1×10-12Pa·m3/s，滿足不同應(yīng)用場景的需求。儀器啟動時間不超過5分鐘，快速響應(yīng)，確保高效工作。
噴氦法：一般用于檢測體積相對較小的部件。將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方（如密封接頭、焊縫等）用噴槍噴氦。如果被檢器件某處有漏孔，當(dāng)氦噴到漏孔上時，氦氣會立即被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質(zhì)譜室中，氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會立即有響應(yīng)。
示蹤氣體選擇：氦氣特性：氦氣是一種稀有氣體，在空氣中的含量極低，具有很小的原子半徑和極高的擴散速度，極易通過微小的泄漏點，因此被選為理想的示蹤氣體。檢漏過程：在檢漏過程中，將氦氣注入被檢測的系統(tǒng)或容器中，若存在泄漏，氦氣會隨著泄漏點逸出。
氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理，測量被試件的氦泄漏量。當(dāng)被測零件密封表面存在泄漏時，泄漏的氦氣和其他氣體將從泄漏處排出。泄漏氣體進入氦質(zhì)譜儀泄漏檢測器后，僅顯示氣體中的氦分壓信號值，通過此信號可獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。
通過分析收集極的離子流信號，可直接測量泄漏率。選擇氦氣作為示蹤氣體，主要因為其在空氣中的含量極低，環(huán)境本底較低，分子體積小，擴散速度快，容易獲取，無毒，不易燃，且屬于惰性氣體。氦質(zhì)譜檢漏基本方法包括噴氦法和吸槍法。
1、氦質(zhì)譜檢漏儀具備卓越的靈敏度，其最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s，能夠精準(zhǔn)檢測極其微小的泄漏。在漏率顯示范圍方面，該儀器覆蓋廣泛，從1×10-3Pa·m3/s到1×10-12Pa·m3/s，滿足不同應(yīng)用場景的需求。儀器啟動時間不超過5分鐘，快速響應(yīng)，確保高效工作。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種：常規(guī)檢漏：將被檢件與檢漏儀的檢漏口連接，通過抽真空或充入氦氣的方式進行檢測。逆擴散檢漏：將被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這種方式適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。
3、噴氦法：一般用于檢測體積相對較小的部件。將被檢器件和儀器連通，在抽好真空后，在被檢器件可能存在漏孔的地方（如密封接頭、焊縫等）用噴槍噴氦。如果被檢器件某處有漏孔，當(dāng)氦噴到漏孔上時，氦氣會立即被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴散到質(zhì)譜室中，氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會立即有響應(yīng)。
4、氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
5、原理： 氦質(zhì)譜檢漏儀主要由離子源和分析器等構(gòu)成。 利用電離后的氦離子在磁場中形成不同半徑的軌跡。 通過調(diào)整加速電壓，可以區(qū)分不同質(zhì)量的離子，從而進行檢測。應(yīng)用方法： 噴吹法：在真空狀態(tài)下，通過氦氣掃描定位泄漏點，具有高靈敏度。 吸槍法：在非真空環(huán)境下進行檢測，操作簡便，適合局部泄漏檢測。
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