1、步驟:先向被檢件內(nèi)充入一定壓力的氦氣,然后吸槍探頭對(duì)被檢件四周進(jìn)行檢測(cè)。若存在泄漏,氦檢儀會(huì)探測(cè)出外泄的氦氣從而定位泄漏點(diǎn)。特點(diǎn):定位泄漏準(zhǔn)確、無(wú)需在真空環(huán)境進(jìn)行測(cè)試、操作簡(jiǎn)便。氦罩法 步驟:將被檢件內(nèi)部與氦檢儀相互連接并且抽真空,并把被檢件放入罩殼內(nèi),同時(shí)將罩殼內(nèi)充滿(mǎn)氦氣。
缺點(diǎn)在于檢測(cè)靈敏度低、檢測(cè)結(jié)果不確定及測(cè)量環(huán)境影響顯著。超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)。 氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法:使用真空壓力法進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí),需將整個(gè)測(cè)試產(chǎn)品放置在真空密封室中,真空密封室連接到輔助排氣系統(tǒng)和泄漏檢測(cè)器。
氦質(zhì)譜檢漏儀通過(guò)檢測(cè)被檢件中是否含有氦氣來(lái)判斷是否存在泄漏。由于氦氣在空氣中的含量極少(約為5ppm),且化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、質(zhì)量輕、運(yùn)動(dòng)速度快,因此它成為理想的示蹤氣體。當(dāng)被檢件存在泄漏時(shí),氦氣會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件內(nèi)部,隨后被檢漏儀檢測(cè)到。
氦質(zhì)譜檢漏還能精確定位漏點(diǎn),便于后期處理漏孔或改進(jìn)工藝。該方法不受溫度,產(chǎn)品形變,內(nèi)表面放氣的影響,也不會(huì)弄濕或污染工件。
氮?dú)錂z漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏及水泡法或壓降法檢漏的原理類(lèi)似,均是在被檢工件內(nèi)部充注高壓氣體,只是充注的氣體不同。由這幾種檢漏方法轉(zhuǎn)換為氮?dú)錂z漏非常方便,只要改變氣源,用氮?dú)錂z漏儀進(jìn)行檢漏即可。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種:常規(guī)檢漏和逆擴(kuò)散檢漏。常規(guī)檢漏:將被檢件與檢漏儀相連,直接向被檢件內(nèi)充入氦氣,然后檢測(cè)從被檢件中泄漏出來(lái)的氦氣。逆擴(kuò)散檢漏:將被檢件接在分子泵出氣口一端,利用分子泵對(duì)不同質(zhì)量氣體的不同壓縮比,使漏入的氦氣逆著泵的排氣方向進(jìn)入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。
1、氦質(zhì)譜檢漏儀主要用于檢測(cè)設(shè)備的氣密性,適用于真空設(shè)備、電子元器件等領(lǐng)域的檢漏工作。市場(chǎng)上有兩家公司較為知名,分別是中科科儀和安徽皖儀。中科科儀提供的國(guó)產(chǎn)配置相對(duì)較為經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,而安徽皖儀則以進(jìn)口配置著稱(chēng),價(jià)格相對(duì)較高。對(duì)于企業(yè)而言,可以根據(jù)自身的資金情況來(lái)選擇不同的配置。
2、氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器。其原理主要基于不同質(zhì)荷比的離子在磁場(chǎng)中受洛倫茲力不同而做圓周運(yùn)動(dòng)半徑不同的原理。具體來(lái)說(shuō),氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分組成。
3、氦質(zhì)譜檢漏儀是利用磁偏轉(zhuǎn)原理制成的、對(duì)示漏氣體氦反應(yīng)靈敏的質(zhì)譜儀,專(zhuān)門(mén)用于檢測(cè)氣體泄漏。以下是對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀的詳細(xì)解析:工作原理 氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示漏氣體。
4、氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種:常規(guī)檢漏和逆擴(kuò)散檢漏。常規(guī)檢漏:將被檢件與檢漏儀相連,直接向被檢件內(nèi)充入氦氣,然后檢測(cè)從被檢件中泄漏出來(lái)的氦氣。逆擴(kuò)散檢漏:將被檢件接在分子泵出氣口一端,利用分子泵對(duì)不同質(zhì)量氣體的不同壓縮比,使漏入的氦氣逆著泵的排氣方向進(jìn)入質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。
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