1、打開(kāi)氦質(zhì)譜檢漏儀,進(jìn)入檢漏模式。確保檢漏儀內(nèi)部干凈,無(wú)干擾氣體。可通過(guò)抽真空或吹掃等方式進(jìn)行清潔。零點(diǎn)校準(zhǔn) 在不連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔的情況下,對(duì)檢漏儀進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn),確保儀器讀數(shù)為零。這是校驗(yàn)前的必要步驟,以消除儀器本身的誤差。連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接到檢漏儀的測(cè)試接口,并確保連接緊密無(wú)泄漏。
溫度控制:環(huán)境溫度應(yīng)控制在(23±5)℃,校準(zhǔn)過(guò)程中室溫變化不超過(guò)±1℃。最好將環(huán)境溫度控制在23℃附近,因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。濕度要求:環(huán)境相對(duì)濕度不大于80%。外部干擾:校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無(wú)明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場(chǎng)等外部干擾,以確保校準(zhǔn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
方法二:將標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標(biāo)準(zhǔn)漏孔證書中環(huán)境溫度下。漏率示值誤差計(jì)算公式:ΔQ = (Qx - Qb) / Qx) × 100%,其中Qx為標(biāo)準(zhǔn)漏孔漏率值,Qb為氦質(zhì)譜檢漏儀漏率示值平均值,ΔQ為氦質(zhì)譜檢漏儀漏率示值誤差。
打開(kāi)氦質(zhì)譜檢漏儀,進(jìn)入檢漏模式。確保檢漏儀內(nèi)部干凈,無(wú)干擾氣體??赏ㄟ^(guò)抽真空或吹掃等方式進(jìn)行清潔。零點(diǎn)校準(zhǔn) 在不連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔的情況下,對(duì)檢漏儀進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn),確保儀器讀數(shù)為零。這是校驗(yàn)前的必要步驟,以消除儀器本身的誤差。連接標(biāo)準(zhǔn)漏孔 將標(biāo)準(zhǔn)漏孔連接到檢漏儀的測(cè)試接口,并確保連接緊密無(wú)泄漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣作為示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。基本原理氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,利用氦氣作為示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。其工作原理大致如下:質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞,使其電離成正離子。
氦質(zhì)譜檢漏儀確實(shí)能為不同的需求提供不同的測(cè)量方法。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高靈敏度的檢漏設(shè)備,其核心在于利用氦氣作為示蹤氣體,通過(guò)檢測(cè)氦氣的存在來(lái)判斷被測(cè)對(duì)象是否存在泄漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀是利用磁偏轉(zhuǎn)原理制成的、對(duì)示漏氣體氦反應(yīng)靈敏的質(zhì)譜儀,專門用于檢測(cè)氣體泄漏。以下是對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀的詳細(xì)解析:工作原理 氦質(zhì)譜檢漏儀使用氦氣作為示漏氣體。
步驟:將被檢件內(nèi)部與氦檢儀相互連接并且抽真空,并把被檢件放入罩殼內(nèi),同時(shí)將罩殼內(nèi)充滿氦氣。如有泄漏產(chǎn)生,則檢測(cè)氣體會(huì)進(jìn)入被檢件內(nèi)部,從而被氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)到。特點(diǎn):可以實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化操作、高靈敏度、高產(chǎn)出、高重復(fù)性。
氦質(zhì)譜檢漏儀經(jīng)過(guò)近半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展,已經(jīng)取得了顯著的進(jìn)步。其發(fā)展歷程主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:從初步發(fā)展到技術(shù)成熟 在四十年代初期,氦質(zhì)譜檢漏儀還處于初步發(fā)展階段,技術(shù)相對(duì)落后,使用范圍也有限。然而,隨著科技的進(jìn)步和工業(yè)生產(chǎn)的需求不斷增加,氦質(zhì)譜檢漏儀逐漸得到了改進(jìn)和完善。
氦質(zhì)譜檢漏儀具備卓越的靈敏度,其最小可檢漏率為5×10-12Pa·m3/s,能夠精準(zhǔn)檢測(cè)極其微小的泄漏。在漏率顯示范圍方面,該儀器覆蓋廣泛,從1×10-3Pa·m3/s到1×10-12Pa·m3/s,滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。儀器啟動(dòng)時(shí)間不超過(guò)5分鐘,快速響應(yīng),確保高效工作。
噴氦法:一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件。將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭、焊縫等)用噴槍噴氦。如果被檢器件某處有漏孔,當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí),氦氣會(huì)立即被吸入到真空系統(tǒng),從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室中,氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會(huì)立即有響應(yīng)。
標(biāo)準(zhǔn)漏孔:采用滲氫型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率標(biāo)稱值在(10^-6~10^-10) Pa·m^3/s,不確定度不大于10%。溫度計(jì):精密玻璃溫度計(jì),測(cè)量范圍(0~50) ℃,不確定度U=0.04℃,k=2,用于監(jiān)測(cè)環(huán)境溫度的變化。校準(zhǔn)步驟 校準(zhǔn)系統(tǒng)組成:校準(zhǔn)系統(tǒng)由標(biāo)準(zhǔn)漏孔、截止閥及需校準(zhǔn)的氦質(zhì)譜檢漏儀組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用方法主要包括以下幾種:噴吹法 步驟:將被檢件內(nèi)部氣體抽空到一定的真空度,此時(shí)檢漏儀需處于檢漏狀態(tài)。通過(guò)噴槍將氦氣噴掃被檢件的外表面,通過(guò)泄漏點(diǎn)進(jìn)入的氦氣氣流量定位泄漏點(diǎn)。特點(diǎn):定位泄漏準(zhǔn)確、高靈敏度、操作簡(jiǎn)便。
準(zhǔn)備工作 確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔規(guī)格 確保所使用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率(如10^-7 Pa·m/s)符合檢漏儀校驗(yàn)的要求。不同型號(hào)的檢漏儀可能對(duì)標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率有不同的要求,因此在使用前需仔細(xì)核對(duì)。檢漏儀預(yù)熱 確保氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)充分預(yù)熱,并運(yùn)行穩(wěn)定。
優(yōu)勢(shì):結(jié)合其他技術(shù)的綜合測(cè)量方法能夠提供更全面、更準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果,滿足特定應(yīng)用場(chǎng)景下的檢測(cè)需求。此外,氦質(zhì)譜檢漏儀還具有以下特點(diǎn),這些特點(diǎn)也為其適應(yīng)不同需求提供了有力支持:外觀精美且堅(jiān)固耐用:氦質(zhì)譜檢漏儀采用精心設(shè)計(jì),外觀新穎、美觀大方,同時(shí)堅(jiān)固耐用,能夠適應(yīng)各種惡劣的檢測(cè)環(huán)境。
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